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  • 產(chǎn)品中心

    Product Center

    當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品檢測(cè)真空探針臺(tái)KT-0904T-R小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)

    小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)

    產(chǎn)品簡介

    小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-R主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)高溫的變溫測(cè)量環(huán)境,以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來的測(cè)試結(jié)果誤差。

    產(chǎn)品型號(hào):KT-0904T-R
    更新時(shí)間:2024-03-27
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
    訪問量:2889
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    品牌鄭科探

    小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-R

    高溫?zé)o氧化測(cè)試:
    當(dāng)晶圓加熱至300,400,500甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)
    越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤
    差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵
    抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,探針座位于腔體外部,可以在不破壞真空度的同時(shí)調(diào)整探針達(dá)到理想位置進(jìn)行測(cè)量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。



    小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-RL參數(shù)


    真空腔體

    類型

    加熱型350   或者加熱制冷型 室溫到350 室溫到-190

    腔體材質(zhì)

    304不銹鋼

    腔體內(nèi)尺寸

    φ90x40mm

    腔體上視窗尺寸

    Φ42mm(選配凹視窗Φ22mm

    腔體抽氣口

    KF16

    腔體進(jìn)氣口

    公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

    腔體出氣口

    公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

    腔體正壓

    0.05MPa

    腔體真空度

    機(jī)械泵≤5Pa 5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa30分鐘)

    樣品臺(tái)

    樣品臺(tái)材質(zhì)

    304不銹鋼

    樣品臺(tái)尺寸

    26X26mm

    樣品臺(tái)-視窗 距離

    30mm(可選凹視窗間距15mm

    樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器

    A    級(jí)PT100鉑電阻

    樣品臺(tái)溫度

    室溫到350℃(可選高低溫樣品臺(tái) 高溫350℃低溫-190℃)

    樣品臺(tái)測(cè)溫誤差

    ±0.2

    樣品臺(tái)變溫速率

    高溫10/min   低溫5/min  最大值

    溫控儀

    溫度顯示

    7寸人機(jī)界面

    溫控類型

    標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫)

    溫度分辨率

    0.1

    溫控精度

    ±0.5

    溫度信號(hào)輸入類型

    PT100熱電阻 (可選 K    S  B型熱電偶)

    溫控輸出

    直流線性電源加熱(液氮流量線性控制液氮制冷)

    輔助功能

    溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線

    探針

    電信號(hào)接頭

    配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2

    電學(xué)性能

    絕緣電阻 4000MΩ     介質(zhì)耐壓 200V    電流噪聲 10pA

    探針數(shù)量

    4探針(可定做6探針)

    探針材質(zhì)

    鍍金鎢針

    探針尖

    10μm

    探針移動(dòng)平臺(tái)

    X軸移動(dòng)行程

    12mm    ±6mm

    X軸控制精度

    5μm

    Y軸移動(dòng)行程

    12mm    ±6mm

    Y軸控制精度

    5μm

    Z軸移動(dòng)行程

    12mm    ±6mm

    Z軸控制精度

    5μm

    數(shù)碼顯微鏡

    顯微鏡類別

    物鏡放大+電子放大

    顯微鏡放大倍數(shù)

    100

    顯微鏡工作間距

    50-150mm

    相機(jī)分辨率

    1080P  60  

    相機(jī)信號(hào)輸出

    HDMI輸出+USB輸出

    LED可調(diào)光源

    LED光源

    顯示屏

    5 屏幕一體機(jī)


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