技術(shù)文章
Technical articles真空加熱腔是一種通過(guò)抽真空環(huán)境實(shí)現(xiàn)高溫處理的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于材料燒結(jié)、薄膜制備、半導(dǎo)體退火、有機(jī)物去除等實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)場(chǎng)景。其核心功能是通過(guò)真空環(huán)境避免氧化、污染或揮發(fā)物干擾，同時(shí)利用精準(zhǔn)控溫實(shí)現(xiàn)材料特性的改性或成型。以下從設(shè)備組成、操作流程、參數(shù)控制、安全規(guī)范及維護(hù)要點(diǎn)等方面詳細(xì)闡述使用細(xì)節(jié)。一、設(shè)備組成與功能1.真空系統(tǒng)-機(jī)械泵：粗抽真空，快速將腔內(nèi)氣壓降至10?2Pa量級(jí)。-分子泵(或擴(kuò)散泵)：進(jìn)一步抽氣至高真空(10??~10??Pa)，需配合前級(jí)機(jī)械泵使用。-真空計(jì)：實(shí)...
濕度環(huán)境發(fā)生器旨在準(zhǔn)確地創(chuàng)造特定濕度的環(huán)境，其工作原理依據(jù)不同的技術(shù)路徑而有所差異，常見(jiàn)的主要有以下幾種方式：(一)蒸汽加濕原理對(duì)于需要提升環(huán)境濕度的情況，蒸汽加濕是一種常用手段。通過(guò)將水加熱至沸騰狀態(tài)，使其轉(zhuǎn)化為水蒸氣，然后將這些水蒸氣引入到目標(biāo)空間中。例如，在一些大型工業(yè)廠房的濕度調(diào)節(jié)系統(tǒng)中，利用鍋爐產(chǎn)生高溫蒸汽，再借助管道輸送和風(fēng)扇擴(kuò)散，讓水蒸氣均勻分布在空間里，從而增加空氣的含水量，達(dá)到提高濕度的目的。這種方式加濕效率高，能夠快速有效地提升濕度，尤其適用于對(duì)加濕速度要...
真空加熱臺(tái)是通過(guò)真空環(huán)境與精準(zhǔn)控溫實(shí)現(xiàn)材料加熱處理的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子封裝、材料燒結(jié)等領(lǐng)域。其核心組件包括加熱系統(tǒng)、真空腔體、密封裝置、溫控模塊及真空泵組。養(yǎng)護(hù)目標(biāo)是保持設(shè)備性能穩(wěn)定、延長(zhǎng)使用壽命、避免污染或操作失誤導(dǎo)致的故障。日常維護(hù)細(xì)節(jié)1.表面清潔與防塵-每日工作結(jié)束后，用無(wú)塵布擦拭腔體外部及控制面板，防止灰塵堆積影響散熱或電路。-腔體內(nèi)壁需每月使用酒精棉片輕拭，避免殘留物附著；若處理?yè)]發(fā)性材料，操作后立即清潔。-密封槽定期清理碎屑，防止堵塞導(dǎo)致真空度下降。2....
真空電阻測(cè)試臺(tái)的測(cè)定步驟包括準(zhǔn)備階段、設(shè)置參數(shù)、放置樣品、開(kāi)始測(cè)試、讀取結(jié)果以及結(jié)束測(cè)試。在使用過(guò)程中，需注意安全、環(huán)境要求、設(shè)備維護(hù)以及操作規(guī)范等方面的問(wèn)題，以確保測(cè)試的準(zhǔn)確性和設(shè)備的正常運(yùn)行。1.安全方面：-確保測(cè)試臺(tái)接地良好，以防止因漏電或靜電等原因造成人員傷害或設(shè)備損壞。-在連接被測(cè)電阻和測(cè)試線時(shí)，應(yīng)在斷電狀態(tài)下進(jìn)行，避免觸電危險(xiǎn)。-對(duì)于高壓測(cè)試，要嚴(yán)格遵守操作規(guī)程，設(shè)置好安全防護(hù)措施，如佩戴絕緣手套、使用絕緣工具等。2.環(huán)境要求：-測(cè)試應(yīng)在干燥、通風(fēng)的環(huán)境中進(jìn)行，避...
真空電阻測(cè)試臺(tái)是一種用于在真空環(huán)境下對(duì)電阻等元件進(jìn)行測(cè)試的設(shè)備，基于歐姆定律等電學(xué)原理，在真空環(huán)境下，通過(guò)探針與待測(cè)電阻形成閉合回路，施加一定的電壓，然后測(cè)量通過(guò)電阻的電流，從而計(jì)算出電阻的阻值。由于是在真空環(huán)境中進(jìn)行測(cè)試，可以避免空氣等介質(zhì)對(duì)電阻性能的影響，提高測(cè)試的準(zhǔn)確性和可靠性。例如對(duì)于一些高精度的薄膜電阻、金屬氧化物電阻等，在真空環(huán)境下測(cè)試能夠更真實(shí)地反映其本征特性。真空電阻測(cè)試臺(tái)的結(jié)構(gòu)組成：-腔體：通常采用一體式不銹鋼腔體，這種結(jié)構(gòu)具有良好的密封性和強(qiáng)度，能夠有效維...
長(zhǎng)期不用氫氧機(jī)，剛使用檢查方法，（建議直接更換溶液）先搖晃腔體，然后開(kāi)機(jī)，產(chǎn)氣調(diào)節(jié)旋紐開(kāi)到最大。觀察顯示屏數(shù)值，觀察產(chǎn)氣量，已605為例，滿(mǎn)功率產(chǎn)氣為680左右，其余型號(hào)沒(méi)用過(guò)，應(yīng)該是比型號(hào)的數(shù)字大，比如405的產(chǎn)氣量大于405.同時(shí)觀察鋼瓶上端壓力表，壓力再0.15~0.2之間，可能會(huì)有差別，最大不超過(guò)0.2兆帕。等壓力到大設(shè)定值之后，產(chǎn)氣量會(huì)急劇下降。緩慢歸零（常規(guī)是小于10）。然后關(guān)機(jī)，檢查管道各個(gè)位置是否漏氣，管道檢查完之后，觀察壓力表是否有明顯的變化，觀察出氣量。正...
進(jìn)氣口調(diào)節(jié)用減壓閥，出氣口調(diào)節(jié)用背壓閥?？破眨阂患?jí)減壓閥作用氣瓶壓力10MPa這個(gè)壓力很高太危險(xiǎn)而且設(shè)備大部分都是小壓力進(jìn)氣的這時(shí)候需要減壓閥使氣瓶氣體輸出壓力調(diào)節(jié)到小壓力。二級(jí)減壓閥作用在上面基礎(chǔ)上二級(jí)減壓閥能調(diào)節(jié)更小的壓力并且輸出壓力精度高穩(wěn)定特別是客戶(hù)使用質(zhì)量流量計(jì)小流量需要使用2級(jí)減壓閥，背壓閥的作用是控制氣體輸出前端的壓力控制氣球的壓力用減壓閥控制口腔的壓力用背壓閥。氣體配比器PC在線氣體配比器主要用于氣體流量測(cè)試,并按比例混合氣體,為真空管式爐或手套箱營(yíng)造特定要求...
干式分子泵組是真空技術(shù)中的一種高1端配置，專(zhuān)為要求更加潔凈、無(wú)油污染的高真空/超高真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)。它通常由兩個(gè)核心部分組成：干式前級(jí)機(jī)械泵泵和分子泵。這種組合完1全摒棄了傳統(tǒng)真空泵中的油或脂潤(rùn)滑，從大氣壓到超高真空全程保持系統(tǒng)潔凈，消除碳?xì)浠衔镂廴撅L(fēng)險(xiǎn)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造，晶圓廠的核心工藝設(shè)備（刻蝕機(jī)、CVD、PVD、ALD、離子注入機(jī)）；高1端光學(xué)鍍膜：激光反射鏡、天文望遠(yuǎn)鏡鏡片、光刻鏡頭鍍膜；表面科學(xué)與分析；掃描/透射電子顯微鏡(SEM/TEM)樣品室要求嚴(yán)苛的科研與材...
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